大型等离子清洗机：为客户大体积产品批量生产环节工艺不良症状提供了强有力的方案。

等离子清洗机

HX-200-QXJ

一、清洗原理

结合需清洗材料的不同属性，通入不同的反应气体，在真空、放电等特殊场合下产生等离子体。

在密闭容器中设置两个电极形成磁场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体越来越稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离越来越远，受电磁场的作用，发生碰撞而形成等离子体。

同时辉光放电，等离子体在电磁场内空间运动，对被清洗材料表面进行“轰击”，改变材料表面性质（清洁/粗化/刻蚀材料表面），增加表面活化能，提高表面附着力。

通过等离子清洗机进行表面处理， 提升工艺过程中材料的“结合”强度，进一步提高产品性能和良率，对人体、材料及环境不产生危害。

二、应用行业

主要应用于半导体（LED/IC/PCB）、3C类消费电子(手机、笔记本电脑）、航空、塑胶、汽车、生物医学、五金等生产制造领域。

三、技术参数

1、整机外形尺寸: 1250mm（W）×1850mm（H）×1340mm（D），外观喷塑处理。

2、反应仓尺寸:600mm(W)×600mm(H)×600mm(D);

电极载物板有效面积:460mm(W) ×530mm(D);  电极载物板层数:2～11层可调。

3、电源：主系统电源: 380×(1±10%)V(AC)  50Hz～60Hz  三相五线。

4、等离子体频率：射频（13.56MHz）；中频（40KHz/80KHz/100KHz）。

5、射频电源功率：射频0～600W（可选配0～1000W）/中频0～1000W连续可调。

6、设备功率：≤5kW。

7、控制方式：采用包括触摸屏人机界面的PLC控制，操作方式包括自动模式和手动模式。在自动模式下将不同工艺参数按照配方方式管理，可同时存储50组不同的配方。使用时只需要将相应配方号调出即可。设备参数分级管理，设备操作员、工艺人员、维护人员使用不同口令管理不同参数，提高设备安全性。手动模式用于实验工艺以及设备维护维修。

8、MFC质量流量计控制：标准配置1路，可根据客户需求选配2-3路。

9、气体流量：(0～300)ml/min （标准气压,0℃）。

10、工作气体(氧、氩等)接口压力：≤0.45MPa。

11、压缩空气（启动气动角阀）接口压力：0.5Mpa。

12、净化冷却气体（氮气）接口压力：0.45MPa。

13、设备工作节拍：单次清洗时间≤8min（反应时间240S左右）。

14、工作真空度：10～150Pa。

我公司是一家集科研设计、生产制造、销售服务为一体的专业化等离子清洗机基地企业。公司汇集了国内早批从事“等离子技术”领域的专业人才，通过多年的研发升级，为市场提供了多款等离子清洗机及配套产品。

公司主打“真空离线型等离子清洗机、真空在线型等离子清洗机、大气等离子清洗机、宽幅等离子清洗机、水滴角测试仪”等产品，配套研发生产“等离子中频电源、等离子射频电源、质量流量计”等核心配件。

公司产品主要应用于：半导体（LED/IC/PCB）、3C类消费电子（手机/笔记本电脑）、航空、汽车、生物医学、五金塑胶等生产制造领域，对物体表面进行活化、清洁、赋能，大大提高了封装、粘接、喷涂等工艺段的良品率，为广大客户的实验、生产项目提供了强有力的保障。专业化、高效化、定制化，是公司一直追求和落地的“三化指标”，本着“诚信为本、锐意创新”的理念，高质量服务于各大合作伙伴。欢迎您来电咨询、实地考察！

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