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  • 等离子清洗机HX-80-QXJ

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中型等离子清洗机:为客户小体积产品批量生产环节工艺不良症状提供了强有力的解决方案。


等离子清洗机

HX-80-QXJ

一、清洗原理

结合需清洗材料的不同属性,通入不同的反应气体,在真空、放电等特殊场合下产生等离子体。

在密闭容器中设置两个电极形成磁场,用真空泵实现一定的真空度,随着气体越来越稀薄,分子间距及分子或离子的自由运动距离越来越远,受电磁场的作用,发生碰撞而形成等离子体。

同时辉光放电,等离子体在电磁场内空间运动,对被清洗材料表面进行“轰击”,改变材料表面性质(清洁/粗化/刻蚀材料表面),增加表面活化能,提高表面附着力。

通过等离子清洗机进行表面处理, 提升工艺过程中材料的“结合”强度,进一步提高产品性能和良率,对人体、材料及环境不产生危害。

二、应用行业

主要应用于半导体(LED/(LED/IC/PCB)、3C类消费电子(手机、笔记本电脑)、航空、塑胶、汽车、生物医学、五金等生产制造领域。

三、技术参数

1、整机外形尺寸: 1150mm(W)×1850mm(H)×1200m(D),外观喷塑处理。

2、反应仓尺寸:450mm(W)×400mm(H)×470mm(D);电极载物板有效面积:330mm(W) ×380mm(D);电极载物板层数:2~7层可调。

3、电源:主系统电源: 380×(1±10%)V(AC)  50Hz~60Hz  三相五线。

4、等离子体频率:射频(13.56MHz);中频(40KHz/80KHz/100KHz)

5、等离子电源功率:射频0~600W(可选配0~1000W)/中频0~1000W连续可调。

6、设备功率:≤3kW。

7、控制方式:采用包括触摸屏人机界面的PLC控制,操作方式包括自动模式和手动模式。 在自动模式下将不同工艺参数按照配方方式管理,可同时存储50组   不同的配方。使用时只需要将相应配方号调出 即可。设备参数分级管理,设备操作员、工艺人员、维护人员使用不同口令管理不同参数,提高设备安全性。手动模式用于实验工艺以及设备维护维修。

8、MFC质量流量计控制:标准配置1路,可根据客户需求选配2-3路。

9、气体流量:(0~300)ml/min (标准气压,0℃)。

10、工作气体(氧、氩等)接口压力:≤0.45MPa。

11、压缩空气(启动气动角阀)接口压力:0.5Mpa。

12、净化冷却气体(氮气)接口压力:0.45MPa。

13、设备工作节拍:单次清洗时间≤8min(反应时间240S左右)。

14、工作真空度:10~150Pa。


我公司是一家集科研设计、生产制造、销售服务为一体的专业化等离子清洗机基地企业。公司汇集了国内早批从事“等离子技术”领域的专业人才,通过多年的研发升级,为市场提供了多款等离子清洗机及配套产品。

公司主打“真空离线型等离子清洗机、真空在线型等离子清洗机、大气等离子清洗机、宽幅等离子清洗机、水滴角测试仪”等产品,配套研发生产“等离子中频电源、等离子射频电源、质量流量计”等核心配件。

公司产品主要应用于:半导体(LED/IC/PCB)、3C类消费电子(手机/笔记本电脑)、航空、汽车、生物医学、五金塑胶等生产制造领域,对物体表面进行活化、清洁、赋能,大大提高了封装、粘接、喷涂等工艺段的良品率,为广大客户的实验、生产项目提供了强有力的保障。专业化、高效化、定制化,是公司一直追求和落地的“三化指标”,本着“诚信为本、锐意创新”的理念,高质量服务于各大合作伙伴。欢迎您来电咨询、实地考察!





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